KLA, 반도체 칩 수율 및 신뢰성 향상 위한 자동차용 신제품 포트폴리오 출시

새로운 검사 시스템과 혁신적인 인라인 선별 솔루션, 반도체 팹의 품질 향상에 기여

2021-06-24 13:05 출처: KLA

KLA의 자동차용 Surfscan® SP A2/A3, 8935 패턴 웨이퍼 검사기, C205 패턴 웨이퍼 검사기, I-PAT®

서울--(뉴스와이어) 2021년 06월 24일 -- KLA가 자동차 반도체 칩 제조를 위한 신제품 4종을 출시한다고 24일 발표했다.

이번에 출시된 제품에는 8935 고생산성 패턴 웨이퍼 검사 시스템, C205 광대역 플라즈마 패턴 웨이퍼 검사 시스템, Surfscan® SP A2/A3 비패턴 웨이퍼 검사 시스템, 그리고 I-PAT® 인라인 결함 부품 평균 테스트 선별 솔루션이 포함된다.

현재 자동차 업계는 전기차(EV), 연결성, 첨단 운전자 지원(ADAS) 및 자율 주행 혁신에 중점을 두고 있다. 이는 차량에 더 많은 전자 장치가 필요하며 그만큼 반도체 칩 수요가 늘어난다는 것을 뜻한다.

반도체 칩은 차량 운용 및 안전과 관련한 응용 분야의 핵심이기 때문에 신뢰성이 중요하며 자동차 반도체 칩은 반드시 엄격한 품질 표준을 충족해야 한다. KLA이 새롭게 선보이는 Surfscan® SP A2/A3, 8935, C205 검사 시스템, 그리고 혁신적인 I-PAT® 인라인 스크리닝 솔루션은 자동차 칩 수율과 신뢰성을 높인다.

KLA 반도체 공정 제어 사업부의 아흐매드 칸(Ahmad Khan) 사장은 “최신 차량은 주변을 감지하고 운전 결정을 내리고 행동을 제어하는 수천 개의 반도체 칩을 포함하고 있다”며 “이러한 칩은 절대로 장애가 발생하면 안된다. 이에 반도체 칩 제조사는 반도체 칩이 차량에 조립되기 훨씬 이전에 반도체 공장에서 신뢰성 결함을 찾고 이를 줄이기 위해 새로운 전략을 추구해 왔다. 자동차용 반도체 칩 생산 공장에 맞춤 설계된 KLA의 신제품은 소스에 잠재된 신뢰성 결함을 감지하고 인라인 선별을 위한 혁신적인 솔루션을 제공한다. 이러한 조치는 반도체 공장이 고품질, 고신뢰성 반도체 칩을 높은 수율로 생산해 생산량을 극대화하는 데에 일조한다”고 말했다.

이번에 발표한 4종의 신제품 중 세 가지 검사 장비는 자동차 산업의 더 큰 설계 노드 반도체 칩 제조를 위한 보완적인 결함 검출, 모니터링 및 제어 솔루션을 제공한다.

Surfscan SP A2/A3 비패턴 웨이퍼 검사기는 DUV(심자외선, Deep Ultra Violet) 광학 및 고급 알고리즘을 통합해 자동차 반도체 칩의 신뢰성 문제를 일으킬 수 있는 공정 결함을 식별하고 공정 설비들이 최고 성능으로 작동하는데 필요한 감도와 속도를 갖췄다.

C205 패턴 웨이퍼 검사기는 R&D 및 양산 과정에서 광대역 입사광 및 NanoPoint™ 기술을 활용해 중대 결함을 고감도로 찾아내 새 공정 및 소자의 최적화를 앞당긴다. 8935패턴 웨이퍼 검사기는 양산 과정에서 새로운 광학 기술과 DefectWise® 인공지능(AI) 솔루션을 활용해 낮은 오류율로 다양한 중대 결함을 검출함으로써 최종 반도체 칩 품질에 영향을 줄 수 있는 이상 상태를 빠르고 정확히 식별한다.

I-PAT는 KLA 검사 및 데이터 분석 시스템에서 실행되는 혁신적인 인라인 선별 솔루션이다. I-PAT는 중요 공정 단계에서8935를 포함한 고속 8 시리즈 검사기 또는 Puma™ 레이저 스캐닝 검사기로 모든 웨이퍼에서 데이터를 수집하고 결함 특성을 추출하는 것으로 시작한다. 그 후 I-PAT는 SPOT™ 생산 플랫폼의 맞춤형 기계 학습 알고리즘과 Klarity® 결함 관리 시스템의 통계 분석 기능을 활용해 이상 결함 군을 식별해서 불량 반도체 칩을 공급망에서 제거한다.

KLA는 자동차 반도체 칩 제조를 위한 맞춤형 신제품 개발 외에도 자동차 업계와 지속적이고 긴밀하게 협력하고 있다. 자동차용 전자 부품 품질 기준을 정하는 단체인 자동차 전자 부품 협회(AEC, Automotive Electronics Council) 회원사로 가입한 것을 비롯해 미국 자동차 산업의 중심지인 미시간주 앤아버에 KLA의 두 번째 본사를 설립하는 등 KLA는 자동차 산업의 엄격한 전자 품질 표준을 달성할 수 있도록 지원하기 위해 최선을 다하고 있다.

KLA EPC(Electronics, Packaging and Components) 사업부를 총괄하는 오레스테 돈젤라(Oreste Donzella) 총괄 부사장은 “이번에 소개한 신제품은 자동차 전자 제품 생태계의 여러 부분을 지원하는 우리의 검사, 계측, 데이터 분석 및 공정 시스템의 방대한 포트폴리오에 포함된다”며 ”각 제품은 자동차용 전자 제품을 구성하는 반도체 칩, 소자, 인쇄회로기판 및 디스플레이에서 높은 수율과 신뢰, 그리고 탁월한 성능을 보장하는데 핵심적인 역할을 한다”고 말했다.

주요 기능, 응용 분야, 그리고 자동차 이외에 적용 가능한 시장 등 8935, C205, Surfscan SP A2/A3 및 I-PAT에 대한 보다 자세한 내용은 제품 팩트 시트를 참고하기 바란다. 이들 새로운 시스템은 고성능과 생산성을 유지하기 위해 KLA의 글로벌 종합 서비스 네트워크 지원을 받는다. KLA의 자동차 제품에 대한 자세한 사항은 KLA Advance 뉴스룸에서 확인할 수 있다.

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